ACE i300


性能良好,多項關(guān)鍵工藝指標(biāo)達到領(lǐng)域先進水平。ACE i300依托北方華創(chuàng)多年的刻蝕經(jīng)驗積累,采用高密度、低損傷等離子源設(shè)計,同時配備北方華創(chuàng)成熟的遠程ICP(電感耦合等離子體源)技術(shù),達到高水平的去膠速率,并實現(xiàn)去膠損傷抑制;采用獨立腔室結(jié)構(gòu)設(shè)計,實現(xiàn)均勻的流場分布,去膠均勻性表現(xiàn)良好;腔室壁配備獨立控溫系統(tǒng),實現(xiàn)良好的顆粒控制水平。

以市場為導(dǎo)向,為客戶創(chuàng)造更大價值。ACE i300可配置大氣、真空兩種傳輸平臺,滿足客戶不同工藝需求;同時,搭配雙腔(twin-chamber)設(shè)計,產(chǎn)能表現(xiàn)優(yōu)秀;機臺維護便捷,關(guān)鍵耗材使用壽命長,滿足客戶低成本運維需求。

作為國產(chǎn)刻蝕設(shè)備的開拓者及引航者,北方華創(chuàng)將始終以科技創(chuàng)新為驅(qū)動,不斷開拓刻蝕領(lǐng)域全新應(yīng)用,助力更多客戶實現(xiàn)更大價值,推動產(chǎn)業(yè)進步,創(chuàng)造無限可能!

 
北方華創(chuàng) 去膠機
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