1 名稱(chēng) HF-RS-A（氧化亞硅專(zhuān)用升華爐）
2 爐型 臥室
3 設(shè)備組成 升華系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、機(jī)械系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)
4 升華系統(tǒng)由燒結(jié)區(qū)和收集區(qū)組成。 收集倉(cāng)的材質(zhì)由客戶(hù)
5 溫控系統(tǒng)采用 PLC 觸屏控制方式
6 加熱系統(tǒng)該設(shè)備采用電阻絲加熱
7 真空系統(tǒng)真空泵真空閥門(mén)及管路組成
8 機(jī)械部分區(qū)外殼采用 304 不銹鋼制作
9 冷卻系統(tǒng) 該設(shè)備配置兩段的冷卻系統(tǒng)
10 外形尺寸 1600mm*700mm*1600mm (終以設(shè)計(jì)尺寸為主)

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