核心功能
設備參數
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清洗效率
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<1.20 s/ea
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單工位效率
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>15 PPM
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熱影響區
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<100 μm
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起皺程度
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無明顯起皺
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破損程度
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無破損
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殘留
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≤0.1 mm
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針孔直徑
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≤0.1 mm，≤5 ea/pcs
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